理事会
理事长:陈静(北京中科科仪股份有限公司)
副理事长:刘敏强(北京北仪创新真空技术有限责任公司)
副理事长:熊兵(清华大学电子工程系)
副理事长:王承章(中国电子科技集团公司第十二研究所)
副理事长:付惺玥(北京北仪优成真空技术有限公司)
副理事长:张丽琴(北京七星华创流量计有限公司)
副理事长:张春元(北京卫星环境工程研究所)
副理事长:高辉(中国科学院国家空间科学中心)
监事长:刘锋(中国真空学会)
秘书长:张彦海(北京中科科仪股份有限公司)
常务理事会
陈静、刘敏强、熊兵、王承章、付惺玥、张丽琴、张春元、高辉、郭辰光、韩广文、蔺宇、张彦清、谢子燕、时东霞、王高峰
监事会
刘锋、王长梗、董桂芳