理事长单位
北京中科科仪股份有限公司
副理事长单位
北京北仪创新真空技术有限责任公司
清华大学电子工程系
中国电子科技集团公司第十二研究所
北京北仪优成真空技术有限公司
北京卫星环境工程研究所
北京七星华创流量计有限公司
中国科学院国家空间科学中心
中国航天科技集团公司第九研究院第704研究所
中国原子能科学研究院
常务理事单位
川北真空科技（北京）有限公司
承德兴科真空设备有限责任公司
浩德科仪(北京)科技有限公司
中科院物理所纳米物理与器件实验室
北京中科科美科技股份有限公司
理事单位
北京大学信息学院物理电子所
北京真维嘉真空技术发展有限公司
北京实力源科技开发有限责任公司
北京航空制造技术研究院
北京中凯威科技发展有限责任公司
北京哲勤科技有限公司
北京朗禾众鑫真空科技有限公司
北京堀场汇博隆精密仪器有限公司
海康创业（北京）科技有限公司
北京金锐光机电技术开发有限公司
英富康有限公司
天津市宇航兴达真空设备制造有限公司
北京合纵天琦新材料科技有限公司
北京航空航天大学仪器光电学院粒子研究室
莱宝（天津）国际贸易有限公司
北京天地精仪科技有限公司
中国航天科技集团公司第五研究院514研究所真空事业部
杭州阿耐思特岩田友佳空压机有限公司上海分公司
北京精仪天和智能装备有限公司
北京纳诺帕技术中心
北京和华腾真空泵压缩机有限公司
涿州市琦瑞玻璃制品厂
杭州盘古自动化系统有限公司北京办事处
遨天科技（北京）有限公司
北京工业大学材料与制造学部
北京理工大学信息与电子学院
江阴市天马电源制造有限公司
监事单位
中国真空学会
北京创世威纳科技有限公司
清华大学化学系